繁體

簡體

首頁關于曼特萊產品中心公司新聞資質證書技術文章招聘中心聯(lián)系我們

主營產品：

分子泵廠家
，真空分子泵，油泵維修，二手EDWARDS愛德華真空泵維修
，AE電源
，Alcatel真空泵維修
，EBARA二手泵
，EBARA分子泵維修
，EBARA維修
，EBARA真空泵
，EBARA真空泵保養(yǎng)，EBARA真空泵維修
，EBARA真空泵維修保養(yǎng)
，Edwards磁懸浮分子泵，Edwards低溫泵維修
，Edwards分子泵維修
，Edwards檢漏儀維修，Edwards羅茨泵維修，Edwards螺桿泵維修
，Edwards渦旋泵維修
，Edwards旋片泵維修，Edwards真空泵
，Edwards真空泵配件
，Edwards真空泵維護，Edwards真空泵維修
，Edwards真空泵修理
，Edwards真空泵油，Edwards真空計維修
，Leybold真空泵
，Leybold真空泵維修，Leybold真空泵油
，MKS電源
，RF Match，Turbo Pump
，VAT閥門
，阿爾卡特分子泵維修，愛德華GXS螺桿泵維修
，愛德華低溫泵維修
，愛德華分子泵，愛德華分子泵控制器
，愛德華分子泵維修
，愛德華干式多級羅茨泵，愛德華干式螺桿真空泵
，愛德華干式渦旋真空泵
，愛德華高真空泵維修，愛德華機械泵
，愛德華機械泵維修
，愛德華機械泵油，愛德華檢漏儀維修
，愛德華羅茨泵維修
，愛德華螺桿維修，愛德華渦旋泵維修
，愛德華旋片泵維修
，愛德華真空泵保養(yǎng)，愛德華真空泵變頻器
，愛德華真空泵齒輪
，愛德華真空泵傳感器
，愛德華真空泵大修，愛德華真空泵電機
，愛德華真空泵定子
，愛德華真空泵閥片，愛德華真空泵法蘭
，愛德華真空泵過濾器
，愛德華真空泵機械密封，愛德華真空泵加熱器
，愛德華真空泵進氣閥
，愛德華真空泵控制器，愛德華真空泵冷卻水管
，愛德華真空泵濾芯
，愛德華真空泵密封件，愛德華真空泵配件
，愛德華真空泵氣體模塊
，愛德華真空泵潤滑劑，愛德華真空泵潤滑油
，愛德華真空泵上門維修
，愛德華真空泵維護，愛德華真空泵維修
，愛德華真空泵維修包
，愛德華真空泵維修廠家
，愛德華真空泵維修套件
，愛德華真空泵修理，愛德華真空泵油
，愛德華真空泵軸承
，愛德華真空泵主板，愛德華真空泵轉子
，愛德華真空計
，愛德華真空計維修，愛德華爪式真空泵維修
，愛發(fā)科低溫泵維修
，愛發(fā)科分子泵維修，半導體真空泵維修
，磁懸浮分子泵
，磁懸浮分子泵維修，大阪分子泵維修
，島津分子泵
，島津分子泵維修
，低溫泵，鍍膜真空泵維修
，二手EDWARDS愛德華真空泵
，二手阿爾卡特真空泵，二手愛德華真空泵
，二手萊寶LEYBOLD真空泵維修
，二手真空泵，二手中古真空泵
，分子泵機組
，分子泵價格，分子泵控制
，分子泵維修
，分子泵轉速，分子渦輪泵維修
，分子真空泵
，干泵維修，干式真空泵
，光伏真空泵維修
，機器人手臂，機臺真空泵維修
，進口真空泵維修
，進口真空泵油，萊寶分子泵
，萊寶分子泵維修
，萊寶機械泵維修，萊寶羅茨泵維修
，萊寶真空泵
，萊寶真空泵維修廠家，萊寶真空泵油
，萊寶真空泵油廠家
，羅茨干泵，螺桿干泵
，普發(fā)分子泵
，普發(fā)分子泵維修，普發(fā)真空泵維修
，全新愛德華真空泵
，全新分子泵，全新真空泵
，全新真空泵油
，實驗室真空泵維修
，太陽能真空泵維修，渦輪分子泵
，渦輪分子泵維修
，渦旋干泵，新能源真空泵維修
，真空泵保養(yǎng)
，真空泵翻新，真空泵維修
，真空泵租賃服務
，adixen真空泵維修，BUSCH真空泵維修
，PFEIFFER真空泵維修
，VACUUM真空泵維修，阿爾卡特真空泵
，阿爾卡特真空泵維修
，干式螺桿真空泵維修，螺桿真空泵維修
，荏原真空泵維修
，旋片式真空泵維修，真空泵保養(yǎng)維修
，真空泵故障維修
，真空泵配件，真空泵維護
，真空泵修理
，真空泵專業(yè)維修，專業(yè)真空泵檢修
，真空PUMP維修

關于曼特萊

產品中心

在線留言

聯(lián)系我們

公司新聞

首頁 >>> 公司新聞

東北大學巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵為中國制造保駕護航

東北大學巴德純教授課題組與中科院沈陽科學儀器股份有限公司成功研制出干式真空泵的消息不脛而走

，立即吸引來眾多**企業(yè)前來洽談合作

。短短幾年間

，產品已經(jīng)在北方微電子、北京中科信

、湖南紅太陽

、上海中芯國際等國內重點用戶的集成電路生產線上成功應用，得到了企業(yè)的廣泛好評

。產品的應用為企業(yè)帶來了可觀的經(jīng)濟效益

，近年來新增利潤累計1.003億元，新增稅收0.153億元

，增收節(jié)支總額1.493億元

。
2015年以清華大學賈培發(fā)教授為主任

，眾多技術專家為組員的驗收委員會一致認為，項目“完成轉子型線分析

、優(yōu)化設計和泵內流場理論分析

，并搭建了干泵的設計平臺（理論部分），指導干泵的設計”

，達到了******

。
零事故高效研發(fā)，為中國制造保駕護航
2013年底

，東北大學與中科院沈陽科學儀器股份有限公司組成工藝測試團隊

，與中科院微電子企業(yè)進行刻蝕機真空裝備項目合作。真空泵開始工作不久

，現(xiàn)場團隊成員發(fā)現(xiàn)真空泵工作**

，效率低下。巴德純教授根據(jù)故障現(xiàn)象

，判斷是刻蝕出來的氣體揮發(fā)物在泵內壓縮時很快凝結成顆粒

，附著在真空泵轉子上，阻礙機器正常運轉

。根據(jù)這一判斷

，工作人員對冷卻方式進行了智能調節(jié)，避免過低的冷卻溫度

，在氣體凝固前將其抽出

，保證了真空干泵的高效運行和刻蝕機的正常運轉。
真空泵的試驗需要在企業(yè)加工生產線上不停機進行

，一旦出現(xiàn)意外將造成重大的生產事故

。東北大學巴德純教授研究真空泵30余年，在各種生產線上進行了上千次的實驗測試

，憑借課題組對不同生產環(huán)境的有效預判

，對相應的溫度場和流場的準確測量，從沒有出現(xiàn)一次生產意外

，以零事故研發(fā)為東北大學贏得了良好的聲譽

。
經(jīng)過東北大學的理論設計、中科院沈陽科學儀器股份有限公司的產業(yè)化開發(fā)的JGH系列的真空泵投入市場后

，受到企業(yè)的青睞

，對國外相關設備形成沖擊。國外企業(yè)立即大幅度調低了某種型號真空泵的售價

，單臺價格從30余萬元直接降低到15萬元

。2014年起，干式真空泵又在東北制藥

、同聯(lián)藥業(yè)等知名制藥企業(yè)成功開始應用

。與制藥企業(yè)采用傳統(tǒng)水環(huán)泵相比

，采用干式真空泵只需要很少的能耗，對環(huán)境無污染

，而且可以對低沸溶媒實現(xiàn)98%以上的有效泵后回收

，實現(xiàn)環(huán)境友好的生產工藝，達到了節(jié)能減排的效果

，取得了巨大的經(jīng)濟效益和社會效益

。

目前，巴德純教授團隊與中科院沈陽科學儀器股份有限公司合作

，已經(jīng)先后開發(fā)了多個具有自主知識產權的干式真空泵（機組）

，形成了JGM系列、JGH系列等2大系列10余種型號

，滿足了清潔真空環(huán)境

、中度真空環(huán)境和惡劣真空環(huán)境等全天候真空抽氣要求。目前

，生產的多級真空干泵已經(jīng)廣泛應用于半導體

、化工、醫(yī)藥

、精密芯片等對清潔真空條件要求十分苛刻的制造業(yè)

。

巴德純自信地表示：“中國制造2025將智能制造作為主攻方向，真空泵產品正是這一方向**制造業(yè)發(fā)展的重要關鍵零部件

。東北大學將逐步形成關鍵制造裝備供貨能力

，為中國的**制造業(yè)保駕護航?div id="jfovm50" class="index-wrap">！?/span>

上一篇：頭個真空泵性能測量國際標準獲ISO立項
下一篇：Alcatel真空泵配件（過濾器）的工作原理

公司形象

產品分類

真空泵維修

EDWARDS 愛德華真空泵維修

ALCATEL 阿爾卡特真空泵維修

LEYBOLD萊寶真空泵維修

貝克(BECKER)真空泵維修

好利旺(ORION)真空泵維修

里其樂(RIETSCHLE)真空泵維修

EBARA荏原真空泵維修

KASHIYAMA真空泵維修

進口真空泵維修

其它品牌真空泵

二手(中古)真空泵

二手(中古)ALCATEL阿爾卡特真空泵

二手(中古)EDWARDS愛德華真空泵

進口真空泵配件

SHIMADAZU配件

KASHIYAMA真空泵配件

EBARA真空泵配件

ALCATEL真空泵配件

EDWARDS真空泵配件

FOMBLIN真空油

配件

產品展示

AE射頻電源 RF 10kw 工業(yè)進口原裝電源 RF power apex

蘇公網(wǎng)安備 32058302001661號

東北大學巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵 為中國制造保駕護航

東北大學巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵為中國制造保駕護航