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東北大學(xué)巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵為中國(guó)制造保駕護(hù)航

東北大學(xué)巴德純教授課題組與中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司成功研制出干式真空泵的消息不脛而走，立即吸引來眾多**企業(yè)前來洽談合作

。短短幾年間，產(chǎn)品已經(jīng)在北方微電子

、北京中科信

、湖南紅太陽(yáng)、上海中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)重點(diǎn)用戶的集成電路生產(chǎn)線上成功應(yīng)用

，得到了企業(yè)的廣泛好評(píng)。產(chǎn)品的應(yīng)用為企業(yè)帶來了可觀的經(jīng)濟(jì)效益

，近年來新增利潤(rùn)累計(jì)1.003億元

，新增稅收0.153億元，增收節(jié)支總額1.493億元

。
2015年以清華大學(xué) 賈培發(fā)教授為主任，眾多技術(shù)專家為組員的驗(yàn)收委員會(huì)一致認(rèn)為

，項(xiàng)目“完成轉(zhuǎn)子型線分析

、優(yōu)化設(shè)計(jì)和泵內(nèi)流場(chǎng)理論分析

，并搭建了干泵的設(shè)計(jì)平臺(tái)（理論部分）

，指導(dǎo)干泵的設(shè)計(jì)”，達(dá)到了******

。
零事故高效研發(fā)，為中國(guó)制造保駕護(hù)航
2013年底

，東北大學(xué)與中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司組成工藝測(cè)試團(tuán)隊(duì)

，與中科院微電子企業(yè)進(jìn)行刻蝕機(jī)真空裝備項(xiàng)目合作

。真空泵開始工作不久

，現(xiàn)場(chǎng)團(tuán)隊(duì)成員發(fā)現(xiàn)真空泵工作**

，效率低下。巴德純教授根據(jù)故障現(xiàn)象

，判斷是刻蝕出來的氣體揮發(fā)物在泵內(nèi)壓縮時(shí)很快凝結(jié)成顆粒，附著在真空泵轉(zhuǎn)子上

，阻礙機(jī)器正常運(yùn)轉(zhuǎn)

。根據(jù)這一判斷，工作人員對(duì)冷卻方式進(jìn)行了智能調(diào)節(jié)

，避免過低的冷卻溫度，在氣體凝固前將其抽出

，保證了真空干泵的高效運(yùn)行和刻蝕機(jī)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)

。
真空泵的試驗(yàn)需要在企業(yè)加工生產(chǎn)線上不停機(jī)進(jìn)行

，一旦出現(xiàn)意外將造成重大的生產(chǎn)事故。東北大學(xué)巴德純教授研究真空泵30余年

，在各種生產(chǎn)線上進(jìn)行了上千次的實(shí)驗(yàn)測(cè)試

，憑借課題組對(duì)不同生產(chǎn)環(huán)境的有效預(yù)判

，對(duì)相應(yīng)的溫度場(chǎng)和流場(chǎng)的準(zhǔn)確測(cè)量

，從沒有出現(xiàn)一次生產(chǎn)意外，以零事故研發(fā)為東北大學(xué)贏得了良好的聲譽(yù)

。
經(jīng)過東北大學(xué)的理論設(shè)計(jì)、中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司的產(chǎn)業(yè)化開發(fā)的JGH系列的真空泵投入市場(chǎng)后

，受到企業(yè)的青睞

，對(duì)國(guó)外相關(guān)設(shè)備形成沖擊。國(guó)外企業(yè)立即大幅度調(diào)低了某種型號(hào)真空泵的售價(jià)

，單臺(tái)價(jià)格從30余萬(wàn)元直接降低到15萬(wàn)元。2014年起

，干式真空泵又在東北制藥

、同聯(lián)藥業(yè)等知名制藥企業(yè)成功開始應(yīng)用。與制藥企業(yè)采用傳統(tǒng)水環(huán)泵相比

，采用干式真空泵只需要很少的能耗

，對(duì)環(huán)境無(wú)污染，而且可以對(duì)低沸溶媒實(shí)現(xiàn)98%以上的有效泵后回收

，實(shí)現(xiàn)環(huán)境友好的生產(chǎn)工藝，達(dá)到了節(jié)能減排的效果

，取得了巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益

。

目前，巴德純教授團(tuán)隊(duì)與中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司合作

，已經(jīng)先后開發(fā)了多個(gè)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的干式真空泵（機(jī)組），形成了JGM系列

、JGH系列等2大系列10余種型號(hào)

，滿足了清潔真空環(huán)境

、中度真空環(huán)境和惡劣真空環(huán)境等全天候真空抽氣要求

。目前，生產(chǎn)的多級(jí)真空干泵已經(jīng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體

、化工、醫(yī)藥

、精密芯片等對(duì)清潔真空條件要求十分苛刻的制造業(yè)

。

巴德純自信地表示：“中國(guó)制造2025將智能制造作為主攻方向，真空泵產(chǎn)品正是這一方向**制造業(yè)發(fā)展的重要關(guān)鍵零部件

。東北大學(xué)將逐步形成關(guān)鍵制造裝備供貨能力，為中國(guó)的**制造業(yè)保駕護(hù)航

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東北大學(xué)巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵 為中國(guó)制造保駕護(hù)航

東北大學(xué)巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵為中國(guó)制造保駕護(hù)航