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阿爾卡特ADP122真空泵維修

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產(chǎn)品名稱: 阿爾卡特ADP122真空泵維修

產(chǎn)品型號: ALCATEL ADP122

產(chǎn)品展商: 阿爾卡特真空泵維修

產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

阿爾卡特ADP122真空泵維修應用： H 型：針對非常苛刻的工藝 P 型：針對中等工藝 LM 型：針對干凈的工藝優(yōu)點：體積小
，占地面積小使用成本低非常高的性能（抽速以及極限壓力）在苛刻環(huán)境下出色的運行效果易于一體化先進的監(jiān)控功能（待機狀態(tài)可減少N2 的消耗量，斷電保護） SEMI S2-93 標準的兼容性（可選）

阿爾卡特ADP122真空泵維修 的詳細介紹

阿爾卡特干泵的設計可將潛在沉積物*小化：
?? 通過減小氣體經(jīng)過的中間腔的容積
?? 通過在泵的每**進行 N2 吹掃從而稀釋工藝氣體（P 和H 型）
?? 通過調(diào)節(jié)真空泵的溫度使其符合各個工藝

，從而限制氣體在泵內(nèi)的冷凝（P 和H 型）
多級羅茨的工作原理：
ADP 真空泵由5 級羅茨組成

。兩個轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時互不接觸

。
ADP 122

，共有2 個型號
ADP 122 P: 和外部的密閉機架一體化，包含：泵

，監(jiān)控系統(tǒng)，手動遙控器

，水電氣設施接
口

，流量計面板

，OEM 接口和串口連接等。
ADP 122 LM: 簡化后的帶監(jiān)控系統(tǒng)的型號

，用于干凈的工藝（load-lock 和transfer chamberpumping）。

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，歡迎來電垂詢阿爾卡特ADP122真空泵維修價格。

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