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ALCATEL ADP122真空泵維修

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產(chǎn)品名稱: ALCATEL ADP122真空泵維修

產(chǎn)品型號(hào): 阿爾卡特ADP122

產(chǎn)品展商: 阿爾卡特真空泵維修

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

ALCATEL ADP122真空泵維修應(yīng)用： H 型：針對(duì)非?div id="m50uktp" class="box-center"> ？量痰墓に? P 型：針對(duì)中等工藝 LM 型：針對(duì)干凈的工藝優(yōu)點(diǎn)：體積小，占地面積小使用成本低非常高的性能（抽速以及極限壓力）在苛刻環(huán)境下出色的運(yùn)行效果易于一體化先進(jìn)的監(jiān)控功能（待機(jī)狀態(tài)可減少N2 的消耗量
，斷電保護(hù)） SEMI S2-93 標(biāo)準(zhǔn)的兼容性（可選）

ALCATEL ADP122真空泵維修 的詳細(xì)介紹

阿爾卡特干泵的設(shè)計(jì)可將潛在沉積物*小化：
?? 通過減小氣體經(jīng)過的中間腔的容積
?? 通過在泵的每較好進(jìn)行 N2 吹掃從而稀釋工藝氣體（P 和H 型）
?? 通過調(diào)節(jié)真空泵的溫度使其符合各個(gè)工藝

，從而限制氣體在泵內(nèi)的冷凝（P 和H 型）
多級(jí)羅茨的工作原理：
ADP 真空泵由5 級(jí)羅茨組成。兩個(gè)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)互不接觸

。
ADP 122

，共有2 個(gè)型號(hào)
ADP 122 P: 和外部的密閉機(jī)架一體化，包含：泵

，監(jiān)控系統(tǒng)

，手動(dòng)遙控器，水電氣設(shè)施接
口

，流量計(jì)面板

，OEM 接口和串口連接等。
ADP 122 LM: 簡(jiǎn)化后的帶監(jiān)控系統(tǒng)的型號(hào)

，用于干凈的工藝（load-lock 和transfer chamberpumping）

。

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